一、真空管路或系统内返油

　　1.油蒸汽返流至真空管路或系统中

　　2.油蒸汽压不对

　　3.停泵时，油返流

　　4.截流阀板上的密封件损坏

　　5.抽气管路底部密封件腐蚀或损坏

　　解决方法：

　　1.清洗真空泵后换符合要求的油

　　2.清洗真空泵后换符合要求的油

　　3.检查并更换截流阀

　　4.更换截流阀

　　5.更换抽气管路、修理密封件

　　二、真空管路或系统内返油

　　1.缺油

　　2.抽气口与排气口错误连接

　　3.供油管线堵塞

　　4.真空泵出现问题

　　5.真空泵中外来物堵塞

　　6.环境温度达到或超过油蒸汽压

　　7.有蒸汽压低于指标

　　8.工作气体温度过高

　　解决方法：

　　1.加油

　　2.抽气管线与抽气口连接

　　3.断开泵连接，清洗并更换符合要求的油

　　4.修理货更换真空泵油

　　5.清理真空泵

　　6.降低环境温度并注意空气流通

　　7.更换符合要求的真空泵油

　　8.更改工艺或加冷却系统

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