在真空泵第一道法兰前吸入气体的温度为238℃。第一道法兰到机器的转子间距不超过400mm,而气体的流速又很快,时间极短,要将工艺气从238℃降到4.8℃,达到真空泵入口温度的要求,工艺设计是在泵的入口法兰加上一个1寸管喷头,注入乙苯,达到降温目的。乙苯注入量由管路上的控制阀来调节。这样存在两个问题:一是注入点设计不合理,造成降温时间短,泵的吸入温度难以保证;二是控制阀一旦出现故障,就会造成设备工作温度全面升高,结果泵发生故障。
另外在真空泵损毁前,转子与转子和转子与壳体的接触相磨经历过较长的时间。期间有温度异常、声音异常和振动加大的现象发生,若巡检人员注意,也可避免事故的发生。