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技术知识

蒸发式真空镀膜设备原理与工艺

一、电阻式蒸发镀的原理
电阻式蒸发镀的原理:是通过电流通过钨绞丝所产生的电阻热而实现将固态的物质变成液态然后达到沸点在进行升华(蒸发)的过程。
迅达ZD系列立式高真空蒸发式镀膜设备
二、调节方法
电阻式蒸发镀分为预热段、预溶段、线性蒸发段三个步骤。但是这三个步骤 与时间长短、电流大小有着密切的关系,迅达真空设备认为应做到短时间中电流,长时间小电流、蒸发电流呈线性上升的方式作为调整工艺的通常调法,比如同等电流时间长二分之一就会变黄,时间较长就会变黑。真空镀膜设备膜层厚度过厚也会带一点黑色,但是是金属本色黑色。膜层薄则呈现白银色。
①、预热段的现象:预热段炉体内钨丝基本没什么变化,只是给钨丝一定安培的电流先加热,通常的工艺电流在600A-1000A之间,时间在10-30秒 。
②、预溶段的现象:这时炉体内的钨丝会有发亮现象,然后铝丝像爆一样的动作, 紧接着将从固态慢慢的变成液态。通常的工艺电流在800A-1200A之间,时间在5-15秒。
③、线性蒸发段:这个阶段最为重要,真空镀膜机膜层变黑变黄都是在这个阶段出现的,蒸发时炉体内的现象,所有的钨丝都达到了像60瓦灯泡那样亮(比喻),随着电流的加大会越来越亮,铝丝刚开始时像水滴一样倒挂在钨丝上,随着电流的加大慢慢的会被完全蒸发掉。(钨绞丝环内温度同样随着电流升高 的也在不断的升高)通常的工艺电流在1200A-2700A之间线性上升,时间在10秒之内。

标签:  真空 真空设备 镀膜设备
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点击次数:  更新时间:2015-06-01 11:23:55  【打印此页】  【关闭