对各种真空泵的性能,都有规定的测试方法来检测其性能的优劣,真空泵的主要性能有:
一、极限压力:
将真空泵与检测容器相连,放入待测的气体后,进行长时间连续地抽气,当容器内的气体压力不再下降,而维持一定值时,此压力即为泵的极限压力,其单位用Pa表示。
二、流量:
在真空泵、罗茨水环真空机组的吸气口处,单位时间内流过的气体量称为泵的流量。在真空技术中,流量的单位用压力*体积/时间来表示。表示泵要流出流量与入口压力的关系曲线。
三、抽气速率:
在真空泵的吸口处,单位时间内流过的气体的体积称为泵的抽气速率。一般真空泵的抽气速率与气体种类有关。
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