真空油和水是互不相溶的两种液体，但在一定条件下，会形成稳定或不稳定的乳化液。使用乳化的真空油，会使真空泵的真空度降低，并且影响泵的使用寿命。

以通常发生在油品中的乳化为例，当真空油或水中存在着某类既有亲油基又有亲水基的表面活性物质(如羧酸衍生物)时，它们会在温度及浓度适宜时，缔合在一起，形成致密的单分子层，将水包在其中。大量的缔合体均匀地分散在油中，就形成了油包水型乳化液。由此可见，控制油、水中表面活性物质的存在，破坏将水包在其中的表面活性物质致密的单分子层，是防止和抵抗两相共存体系乳化的根本途径。

如果真要抽送含有水蒸气的空气，可在真空泵进气口处安装设计一种过滤水蒸气或冷凝性气体的装置；另外，也可以选择水环式真空泵来解决。