真空镀膜设备是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。而设备在系统工作的时候难免会遇到一些问题，就比如说系统工作时温度过高，那么如果遇到这种情况想要解决问题，首先的步骤就是找出原因，到底是些什么原因呢？

1、缺油。

2、供油管线堵塞。

3、油泵出现问题。

4、油蒸汽压低于指标。

5、工作气体温度过高。

6、油泵中外来物堵塞。

7、抽气口与排气口错误连接。

8、环境温度达到或超过油蒸汽压。

以上就是造成真空镀膜设备系统工作时温度高的相关原因，找到了原因问题自然也就好解决了。