真空泵干燥的过程就是将干燥物料置放在密闭的干燥室内，用真空系统抽真空的同时对被干燥物料不断加热，使物料内部的水分通过压力差或浓度扩散差到表面，水分子在物料表面获得足够的动能，在克服分子间的相互吸引力后，逃逸到真空室的低压空间，从而被真空泵抽走的过程。

        在系统中做主泵：所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。

        粗抽泵：粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。

        前级泵：前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强以下的真空泵。

        维持泵：维持泵是指当真空系统抽气很小时，不能有效的利用主要前级泵。为此，在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。

        粗真空泵或低真空泵：粗、低真空泵是指从大气开始，降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。

        高真空泵：高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。

        超高真空泵：超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。

        增压泵：增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间，用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。

        迅达真空设备行业自改革开放的20多年来有了很大的发展和长足的进步，这不仅反映在产值、产量上的大幅度增长，而且在品种、规格还是在综合技术水平上都取得了可观的成绩。