无油机械真空泵的抽气作用是通过安装在斜轴上的摇摆活塞反复改变进排气口容积大小 来实现的。该泵实现无油的关键是依赖于金属波纹管将抽气腔与机械润滑腔完全隔离。它的主要特点如下。

　　1、具有无油、千燥、清洁的特点。

　　2、该泵允许的工作压力范围为1(T2?lX103Pa。作为无油前级泵或循环使用时最大排 出压力可到lX10sPa,压比可达12 (有排气阀）。当作为无溃增压泵或隔离泵使用时，极限 压力能达4Xl(T2Pa,最大压比可达100,提髙真空度2个数景级。

　　3、摆活塞与上下栗盖间不接触，活塞密切协作，内外球面采用能自润滑的活塞环密 封，并由活塞涨圈自动补偿磨损M，波纹管采用了特殊的工艺处理，因而寿命较长。

　　4、泵的主要材料是lCrl8Ni9Ti,活塞环采用充填四氟，因而任何对上述材料不产生反 应的气体都能适用，并具有较好的耐腐蚀性。

　　无油机械真空茱的用途主要有两个：

　　1、作为无油前级泵或循环泵使用，主要用于核工业、电子工业、化学、制药、食品工 业中抽除或输送某些特殊气体和贵重气体；

　　2、作为无油增压泵或隔离泵使用时，用于超高真空无油相组的前级泵，经四极质谱分 析证实，该泵具有较好的挡油效果，与常用的挡油阱相比，不需要液氮和更换吸附剂，没有 抽气速率损失，并具有真空度高、启动快、使用维护方便等优点。