超高真空系统的全压力侧童除了最早采用的B-A型超高真空规外，又发展了许多极高真空规，如冷阴极磁控规、抑制规和弯注规等。迅达机组中水环泵的作用是造成所需的准备真空，因而务求该水环泵的最大容许排气压力，即是说，一上面要放量普及水环泵的极限真空，另一上面，也要变法儿普及最大容许排气压力。但对许多研究工作来说，仅靠全压力数据是不够的。这时获得系统内气体组分和分压力的数据比全压力数据更能说明问题。真空条件下的气体分析和分压力测量通常是由动态质谱计完成的。被输送介质中，若含有固体颗粒，泵入口要加过滤网：如含有铁磁质微粒，需加磁性过滤器。

真空泵必须经常保持清洁，真空泵上不得放置其他物件，不得堵塞真空泵四周通道，以利维修和操作；经常注意三角皮带的松紧，加以调整，经常注意各管道接头处是否漏气，以及箱体内预真空有否下降，否则要及时维修；经常注意冷却水是否畅通，每次开车要断续启动4-6次，每次2s以内，以克服启动时较大转矩。

水环真空泵在使用中环境温度应小于40℃，电机温升不得超过75℃。磁力泵正常运行1000小时后，应拆检轴承和端面动环的磨损情况，并更换不宜再用的易损件对于输送液为易沉淀结晶的介质，使用后应及时清洗，排净泵内积液。例如真空系统中的吸附、凝结、脱附过程等，它涉及到容器表面和系统内部物质和残余气体分子的相互作用。