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滑阀式油封机械泵(简称滑阀泵)同旋片泵一样,也是一种变容式气体传输泵。其和范围和使用条件与旋片泵基本相同。
这种泵亦分单级泵和双级泵两种,有立式和卧式两种结构形式。
这种泵主要由泵体及在缸内作偏心转动的滑阀所组成。在泵缸中,装有滑阀环(4),其内装有偏心轮(3)。偏心轮固定在轴(2)上,轴与泵缸中心线相重合。在滑阀环上装有长方形的滑阀杆(5),它能在半圆形滑阀导轨(7)中上下滑动及左右摆动,因此泵缸被滑阀环和滑阀杆分隔为A,B两室,泵在运转过程中,由于A,B两室容积周期性地改变(极小与极大之间),从而达到抽气的目的。双级型的滑阀泵,实际上是由两个单级泵串联起来的,它的高、低真空室在同一泵体内,有的是直接铸造成一个整体,有的是压入中隔板来把泵腔分为高、低两室。但二者的前后两室均不直接有孔相通,而是高真空室把容器中的气体吸入经膨胀压缩后排到泵腔上部空腔,再由低真空室吸入经膨胀压缩过程排出泵外。
滑阀泵由于其结构特点,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa,对大泵≤1.3Pa(均关气镇),双级泵的极限压力≤0.06Pa(关气镇)。抽速大于150L/s的滑阀泵多采用单级型式。
由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心,如果滑很好的质量平衡,在运转时会产生较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线,因此很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。做好滑阀的质量平衡,减少泵的振动一直是滑阀泵需要解决的一个重要课题。