1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作用强要求。如:真空镀膜要求1x10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmHg。通常选相泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作圧强范围, 如:扩散泵为10-3~10-7㎟Hg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随圧强而变化,其稳定的工作压强范围为5 x10-4~5x10-6 mmHg.因而, 泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作, 但其工作圧强向应小于1 x 10-5mmHg为好。

3、真空泵在其工作压强下, 应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量.

4、正确地组合真空泵 。 由于真空泵有选择性抽气, 因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求, 需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛大升华泵对氢有很高的抽速, 但不能抽氦,而三级型溅射离子泵,  (或二级型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度. 另外,有的真空泵不能在大气压下一工作,需要预真空:有的真空泵出口圧强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用.

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时, 应该选择各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等.如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、 挡油阱等,也能达到清洁真空要求. 

6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时需要知道气体成分,针对被抽气体造择相应的泵。如果气体中含有蒸气、 颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

7、 真空泵排出来的油蒸汽对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外 。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响 。 着工艺过程不允许, 应选择无振动的泵或者采取防振动措施 。

9、真空泵的价格、返转及维修费用。